實(shí)測案例 | 第三講:溫度監(jiān)測電源模塊燒毀原因分析
半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測試、拋光、硅晶圓制造等,這些精密生產(chǎn)設(shè)備中有電氣元器件、執(zhí)行部件、監(jiān)測控制儀器等,對(duì)供電的穩(wěn)定性和質(zhì)量要求很高。
某半導(dǎo)體單晶硅材料生產(chǎn)車間有很多的單晶爐,晶體在生長和拉制時(shí)對(duì)溫度有嚴(yán)格要求,因此安裝了智能高溫在線測溫儀,對(duì)生產(chǎn)期間的溫度進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)測和控制。
但是電源模塊經(jīng)常損壞,大多發(fā)生在工作流程快結(jié)束的幾個(gè)小時(shí)工作區(qū)間內(nèi),而且損壞是隨機(jī)的。



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